目前蘇州計量測試院已完成了課題的各項考核指標，其中建立微納領域社會公用計量標準2項，申請專利2項，形成各類標準或校準規范8項，組織全國掃描電子顯微鏡校準比對1項，實現先進制造產業中全國不同區域掃描電子顯微鏡納米幾何參量量值準確一致，進一步完善納米計量量傳體系建設。此外在先進制造領域開展應用示范20家，從根本上解決了納米幾何標準器缺失和量傳體系與產業脫節的問題，打破國外壟斷，提升了產品質量和國際競爭力。